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黄光補助材料 反射防止コーティング フォトレジスト
飛凱材料のDUV 底部抗反射層材料は、適切な厚さを組み合わせることで、Al、Cu、W、GaAsなどの基板の反射率を1%以下に低下させることができます。また、良好な充填能力を持ち、、様々なKrF 光刻プロセスに適しています。
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